基于微光机电系统的可调滤波器
概述
1.基于微光机电(MOEMS)技术,实现可调谐光滤波器,通过静电驱动或压电驱动等方式实现滤波器透射谱中心波长的调节。滤波器调谐频率不低于1000Hz,FSR不小于100nm,透射谱半峰宽小于5nm,以上参数需求可后期联合开发优化。 2.其它光子集成技术,如:光计算芯片、片上光谱仪、光电一体化集成、光电混合计算处理等技术。
已过期:截止至2022-09-16
金额:1000万元-2000万元