概述

在面板的制做工艺当中，很多工艺需要高温环境且对温度均匀性及稳定性有很高要求，但怎么确保温度精准的控制是一项比较难解决的课题。在面板行业此项课题在国内属于空白，属于关键性卡脖子技术，目前行业内设备严重依赖国外进口。公司志在此项技术领域取得突破，打破日韩对此类设备垄断。 目前有三个细项的需求： ①升温与降温的响应速度；②温度的精准控制；③温度的均匀性。 如果在高温情况下确保温度的精准控制是一个很高的要求，这对设备的硬件及软件都提出很高要求，温度不均匀会影响产品品质，影响最终良率。此类设备属于制程设备，因此对温控有更高的需求。需求的温度控制在300-500°，精度控制在±2°。