概述

G5 级别双氧水和异丙醇的提纯工艺，在原有工艺基础上进行升级迭代，通过共同改进提纯设备，改进提纯工艺流程，来实现进一步控制金属颗粒含量，让产品能够达到8寸和12寸半导体级晶圆的使用需求，从而实现G5级别双氧水和异丙醇的研发。