概述

技术问题：实现高频、高Q值的光电混合集成，面向微波/毫米波，实现高Q值谐振腔，结合光电集成设计，应用于窄线宽激光器、光生微波、传感以及测量等应用领域。 技术指标需求： 光谐振腔的Q值： >5*10^8 工作波长：C波段； 微波频率：低频至100GHz