概述

太阳能电池发电的原理是基于半导体的光生伏特效应将太阳辐射直接转换为电能。扩散工艺是形成太阳能电池核心半导体器件P/N节的关键工序。 G12电池尺寸增加为210mm，同时扩散炉管恒温区长度增加为2.2米，磷源在炉管内的分布均匀性难以控制，会导致电池片P/N节方块电阻均匀性变差，电池片中心位置方块电阻偏高，边缘偏低；炉口部位和炉尾部位方块电阻差异较大，片内不均匀性高达10%。对太阳能电池发电效率影响较大。

需求详情

太阳能电池发电的原理是基于半导体的光生伏特效应将太阳辐射直接转换为电能。扩散工艺是形成太阳能电池核心半导体器件P/N节的关键工序。G12电池尺寸增加为210mm，同时扩散炉管恒温区长度增加为2.2米，磷源在炉管内的分布均匀性难以控制，会导致电池片P/N节方块电阻均匀性变差，电池片中心位置方块电阻偏高，边缘偏低；炉口部位和炉尾部位方块电阻差异较大，片内不均匀性高达10%。对太阳能电池发电效率影响较大。

项目预期

通过对扩散炉管优化进气方式，进气位置以及抽气管道改造，改善磷源在炉管内的气场分布，从而改善P/N节扩散均匀性，将片内方块电阻的不均匀性改善为5%。