概述

基于微光机电系统的可调滤波器

需求详情

1.需求开发基于微光机电(MOEMS)技术，实现可调谐光滤波器，通过静电驱动或压电驱动等方式实现滤波器透射谱中心波长的调节。滤波器调谐频率不低于1000Hz，FSR不小于100nm，透射谱半蜂宽小于5nm，以上参数需求可后期联合开发优化。2.其它光子集成技术的联合开发，如：光计算芯片、片上光谱仪、光电一体化集成、光电混合计算处理等技术。