概述

4N电子级羰基硫应用端验证

需求详情

需求背景：硫化羰，又名氧硫化碳、羰基硫，是一种无机化合物，化学式为COS，能迅速溶于醇、甲苯和碱，是一个结构上与二硫化碳和二氧化硫类似的无机碳化合物，气态的COS分子为直线型，一个碳原子以两个双键分别与氧原子和硫原子相连，主要用作有机合成中间体。需求内容：电子级气体在半导体工业中的应用主要分为两种．第一种作为化学气相沉积法制备CdS、Cr2S3、MnS等薄膜的重要前驱体。其次，羰基硫在干法刻蚀工艺中作为刻蚀剂的重要组成部分，是刻蚀无定型碳掩膜层不可或缺成分。现寻求相关技术团队进行如下应用指标的验证：1.作为无定形碳掩膜层形成的添加剂时，所形成的沟道深宽比。2.横截面表面形貌。3.孔洞规整性。4.刻蚀速率。5.最终产品良品率等指标。