概述

基于无掩模光刻工艺开展太阳能电池片图形转移技术的开发

需求详情

一种用于太阳能光伏电池片的栅线金属化预处理生产系统，包括：上料机构、印刷烘干单元、无掩模光刻单元、翻面机构以及显影机构，所述 印刷烘干单元通过翻面机构与其本身循环连接或与下一组印刷烘干单元相连接，所述显影机构通过无掩模光刻单元与印刷烘干单元相连接。通过上述方式，可以实现太阳能电池片的上料、油墨印刷、烘干、无掩模光刻、翻面、显影的完整的工艺流程，并且可以根据工艺流程的需要 调整各个工位的顺序位置或扩展设备布局，使太阳能电池片两面都具备电锻的条件。现需要开发更稳定更具性价比的工艺流程；深入研究无掩模光刻技术， 实现更小的曝光线宽；开发更经济工艺参数，以及设计开发相应更高产能生产设备。