概述

寻找二手电子束（EBL）光刻设备，适用于科研及小批量生产中使用，具有自动化程度高等特质的相关型号，具体设备需求参数参考详情。 需求详情： 1、主要技术参数：最小线宽8nm，套刻精度10 m 2、电子束直径：小于2nm 3、加工晶圆尺寸：适用8英寸晶元 4、品牌：JOEL、Raith、ELIONIX等 5、具体型号：Raith5200型5150型，JEOL（8100FS型）等

需求详情

寻找二手电子束（EBL）光刻设备，适用于科研及小批量生产中使用，具有自动化程度高等特质的相关型号，具体设备需求参数参考详情。需求详情：1、主要技术参数：最小线宽8nm，套刻精度10 m2、电子束直径：小于2nm3、加工晶圆尺寸：适用8英寸晶元4、品牌：JOEL、Raith、ELIONIX等5、具体型号：Raith5200型5150型，JEOL（8100FS型）等