概述

需要解决的主要技术问题: 提供一种能够提高光学膜层抗激光损伤阈值的镀膜技术

需求详情

1.需要解决的主要技术问题:提供一种能够提高光学膜层抗激光损伤阈值的镀膜技术2.需求提出背景及主要应用领域方向:光学薄膜的常规获得方法是借助真空溅射的方式在玻璃基板上涂镀膜，随着高功率激光器及其应用范围的日益扩大，对膜层的反射率和过率有不同的要求，促进了多层高反射膜和宽带增透膜的发展，同时对光:薄膜的抗激光损伤性能的重要性也日益突出，以致激光损伤阈值成为光学薄膜不可缺少的性能指标。因此，如何提高光学薄膜的抗流光损伤阈值的镀膜技术研究尤为重要。3.技术难点:如何确认抗激光损伤阈值膜层与玻璃基板表面洁净度及镀膜参数设置的相关性4.对主要技术指标、成本等有关要求:1)光学薄膜抗激光损伤阈值>8J/cm2脉宽10ns，波长532nm2)新镀膜技术在现有镀膜技术基础上成本增加不超过10%