硅晶片的背金涂层脱落工艺优化
概述
可以从工艺优化或设备改进角度降低次品率,次品率<0.01%。
需求详情
硅晶片背面需要涂三层金属,涂上去的金属,在下游厂商使用加工成芯片的过程中,目前总数量千分之一的硅晶片的背面的一块区域(大约1-2厘米面积)涂层出现背面金属涂层脱落的问题,从而导致整个芯片报废。希望可以从工艺优化或设备改进角度降低次品率,次品率<0.01%。
已过期:截止至2024-05-12
金额:50万元-60万元