概述

初步决定以导电性为切入点，以低的电阻率及高均匀性为目标，来制备一种稳定的导电旋转氧化锆靶材。但是针对以上方案仍存在以下问题：1、材料内部本身纯度（即均匀性）的控制问题；2、生产时杂质以及气孔对导电性的影响问题。技术指标：1.靶材纯度不低于 99.9%；2.致密性提升（厚度均匀、质量可靠、晶粒尺寸一致）；3.导电性能比原来的产品提升 10%以上。

需求详情

技术需求：寻找意向单位开展委托开发合作，实现一种稳定的导电旋转氧化锆靶材的研发，初步决定以导电性为切入点，以低的电阻率及高均匀性为目标，来制备一种稳定的导电旋转氧化锆靶材。针对以上方案仍存在以下问题：1、材料内部本身纯度（即均匀性）的控制问题；2、生产时杂质以及气孔对导电性的影响问题。技术指标：1.靶材纯度不低于99.9%；2.致密性提升（厚度均匀、质量可靠、晶粒尺寸一致）；3.导电性能比原来的产品提升10%以上。

技术参数

1、材料内部本身纯度（即均匀性）的控制问题；2、生产时杂质以及气孔对导电性的影响问题。技术指标：1.靶材纯度不低于 99.9%；2.致密性提升（厚度均匀、质量可靠、晶粒尺寸一致）；3.导电性能比原来的产品提升 10%以上。

项目预期

1、材料内部本身纯度（即均匀性）的控制问题；2、生产时杂质以及气孔对导电性的影响问题。技术指标：1.靶材纯度不低于 99.9%；2.致密性提升（厚度均匀、质量可靠、晶粒尺寸一致）；3.导电性能比原来的产品提升 10%以上。