概述

技术参数： 1）具备4/6/8吋晶圆 TTV WARP BOW THICKNESS 量测能力。 2）精度要求误差小于0.1 um。

需求详情

目前我司标片未找到具备更精密量测设备单位，并具备校验能力的单位。1）具备4/6/8吋晶圆 TTV WARP BOW THICKNESS 量测能力。2）精度要求误差小于0.1 um。