概述

硅基声音敏感元件制造工艺优化及应力消除方法；芯片及传感器样品制备；在助听器、降噪耳机、智能手机或工业安全监测等领域 3 种应用验证与场景应用。

需求详情

在电子设备中采用敏感元件来感知外界的信息，可以达到或超过人类感觉器官的功能。敏感元件是传感器的核心元件。随着电子计算机和信息技术的迅速发展，敏感元件的重要性日益增大。但目前工艺还待优化。寻求：1.硅基声音敏感元件制造工艺优化及应力消除方法；2.芯片及传感器样品制备；3.在助听器、降噪耳机、智能手机或工业安全监测等领域 3 种应用验证与场景应用。

项目预期

量产级硅基高性能声音敏感元件封测及在助听器、降噪耳机、智能手机或工业安全监测等领域 3 种应用验证与场景应用，产品现场演示。