概述

寻找意向单位开展关键技术研发，实现晶圆传送盒内部流场数值模拟及气体扩散器研制。

需求详情

【企业简介】荣耀半导体材料（嘉善）有限公司主要从事半导体器件专用设备、半导体分立器件制造、电子元器件、电子专用材料、合成材料的研发与制造。【技术需求】寻找意向单位开展关键技术研发，实现晶圆传送盒内部流场数值模拟及气体扩散器研制。【项目预期】对晶圆转运合内的流场进行数值模拟及实验测试，通过对模拟结果及实验结果进行分析比较，对氮气扩散器结构进行优化，并最终开发出一款结构较为简单、扩散效果好的扩散器，其能够有效避免晶圆因空气污染而产生的失效。