概述

寻求意向单位共同开展关键技术研发合作，开展多源等离子体蒸发沉积系统研发项目。

需求详情

【企业简介】苏州迈为科技股份有限公司是集机械设计、电气研制、软件开发、精密制造于一体的高端装备制造商,公司面向太阳能光伏、显示、半导体三大行业,研发、制造、销售智能化高端装备,主要产品包括全自动太阳能电池丝网印刷生产线、异质结高效电池制造整体解决方案、OLED柔性屏激光切割设备、Mini/MicroLED晶圆设备、半导体晶圆封装设备等。【现有进展】完成双源实验机研制，掌握蒸发离子成膜设备核心设计内容，制备出优质的TCO薄膜。【技术需求】1.等离子体源开发，等离子体源设计优化，延长等离子体源的寿命；2.多源等离子体蒸发沉积系统开发；3.量产型多源等离子体蒸发沉积系统开发。【项目预期】具体技术参数如下：1.放电电压60--70V左右，电流150A左右；2.膜厚均匀性：110nm±7%；3.方阻均匀性：50Ω±10%。