概述

寻找意向单位共同开展面向PECVD非晶硅镀膜装备的等离子体实验诊断平台搭建及关键技术研发项目技术开发。

需求详情

【企业简介】苏州迈为科技股份有限公司是集机械设计、电气研制、软件开发、精密制造于一体的高端装备制造商,公司面向太阳能光伏、显示、半导体三大行业,研发、制造、销售智能化高端装备,主要产品包括全自动太阳能电池丝网印刷生产线、异质结高效电池制造整体解决方案、OLED柔性屏激光切割设备、Mini/MicroLED晶圆设备、半导体晶圆封装设备等。【现有进展】已完成PECVD装备等离子体有效沉积功率和效率测量实验，采用磁探针测量谐波电流密度，采用高压探头测量电压波形，给出不同工艺参数下PECVD装备等离子体有效沉积功率和效率。【技术需求】1.PECVD装备等离子体有效沉积功率和效率测量实验2.PECVD装备等离子体点燃过程的实验研究3.甚高频（40MHz/60MHz）PECVD装备等离子体均匀性优化模拟方案的实验验证4.射频偏压对PECVD装备中等离子体径向分布和离子能量分布的实验测量5.协助搭建等离子体实验诊断平台。【项目预期】1.研究工艺条件对PECVD装备等离子体有效沉积功率和效率的影响；2.研究工艺条件对等离子体点燃过程的影响；3.对未来数值模型所预测的等离子体均匀性优化方案进行实验验证；4.研究低频电源对等离子体径向分布和离子能量分布的影响；5.搭建PECVD非晶硅镀膜装备等离子体实验诊断平台。