概述

该司目前正寻找意向单位合作解决以下问题： 1.进行功率损耗问题； 2.工艺气体解离率问题； 3.提高均匀性问题； 4.黄粉问题； 5.沉积薄膜工艺模拟； 6.非对称容性耦合等离子体放电研究； 7.模拟和实验诊断工作结合问题。

需求详情

【企业简介】苏州迈为科技股份有限公司是集机械设计、电气研制、软件开发、精密制造于一体的高端装备制造商,公司面向太阳能光伏、显示、半导体三大行业,研发、制造、销售智能化高端装备,主要产品包括全自动太阳能电池丝网印刷生产线、异质结高效电池制造整体解决方案、OLED柔性屏激光切割设备、Mini/MicroLED晶圆设备、半导体晶圆封装设备等。【现有进展】调试Ar、H2、SiH4的容性耦合放电整体模型耦合等效回路程序，验证模拟结果和程序可靠性，评估化学反应路径，简化化学反应序列，完善尘埃耦合流体程序，研究电非对称波形驱动Ar、H2、SiH4的容性耦合放电特性，采用静电流体模型通过改变波形研究如何在基片上离子能量分布保持相对不变的情况下提高等离子体密度、解离率和沉积速率。【技术需求】1.进行功率损耗问题；2.工艺气体解离率问题；3.提高均匀性问题；4.黄粉问题；5.沉积薄膜工艺模拟；6.非对称容性耦合等离子体放电研究；7.模拟和实验诊断工作结合问题。【项目预期】1.研究各种不同放电参数条件下各种带电粒子、中性基团在工艺腔内的时空分布、输运过程；2.各种不同放电参数条件下电子加热机理、电负性气体放电模式以及功率沉积时空分布；3.射频频率、波形、施加方式、腔室尺寸与等离子体密度径向均匀性的对应关系；4.各种混合气体化学反应主要路径，基片上主要带电粒子的能量和角度分布、基片上主要前驱物和自由基团的通量受电源参数、气体组分、气压等的影响和调控；5.薄膜、卡槽、介质环等的结构、介电特性引起的等离子体密度、放电径向不均匀性的变化，定性分析等离子体放电状态与表面薄膜成长的关系，分析沉积速率、成膜质量；6.尘埃颗粒形成的负离子反应序列，成核、凝聚、表面生长机理等。