概述

该司目前正寻找意向单位合作解决以下问题：1、TCO薄膜损伤机理探究及沉积工艺优化；2、先进PVD沉积系统开发。

需求详情

【企业简介】苏州迈为科技股份有限公司是集机械设计、电气研制、软件开发、精密制造于一体的高端装备制造商,公司面向太阳能光伏、显示、半导体三大行业,研发、制造智能化高端装备,主要产品包括全自动太阳能电池丝网印刷生产线、异质结高效电池制造整体解决方案、OLED柔性屏激光切割设备、Mini/MicroLED晶圆设备、半导体晶圆封装设备等。【现有进展】在已有的研究进展中，该公司已完成：(1)不同靶基距工艺改进测试(2)不同磁场参数工艺改进测试(3)脉冲模式放电测试(4)完成对靶溅射设备预研【技术需求】在进一步研发过程中，需推进以下两点的优化开发：1、TCO薄膜损伤机理探究及沉积工艺优化；2、先进PVD沉积系统开发。【项目预期】1.工艺参数对等离子体特性及薄膜性能影响研究(直流放电模式)2.不同放电模式下TC0薄膜沉积工艺研究(依托新设备)3.通过类比分析提出新概念沉积系统研发的可行性报告，判断是否能够制备出优质的薄膜，并为结构优化、工艺改进及生产型设备研发提出建议。此结果以及可行性报告需要通过双方确认，达成一致。