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针对半导体设备传感器数据的实时异常检测技术
概述
半导体设备、测量分析,时交付,技术成熟
需求详情
核心技术:寻找一种可以帮助半导体工艺工程师快速、轻松地检测工艺异常,并进行实时预测和追踪不良原因的AI解决方案。项目预期:通过对根据设备状态的测量结果可信度进行量化评估,实施有效的工艺控制,从而提高良率、降低制造成本,并通过不良原因预测和追踪技术提升产品的量产技术水平。利用FDC(故障检测与分类)数据,实时监控半导体制造工艺设备的传感器参数,以实现异常检测。
征集中
金额:15万元-25万元