概述

寻求意向单位合作开展有关镀膜设备的自动化控制系统开发的研究

需求详情

真空镀膜设备用来实现在基板上的若干功能纳米薄膜沉积，是半导体、新型显示、薄膜太阳能电池等领域的关键工艺设备，整体包括真空系统、工艺系统、电气系统和传动系统等，在整个自动化镀膜过程中，涉及到各个系统的智能化控制，实现自动一体化生产，具体是希望能够实现实现设备运行状态、工艺参数、故障预警等的智能化管理。根据设备生产工艺及控制系统的要求，对设备监控管理系统的关键功能进行研究，开发自动化控制系统基础架构和应用层。