概述

实现PZT压电薄膜及其基于该材料的高性能PMUT（Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer，压电微机械超声换能器）器件的产业化，以满足物联网时代智能化电子产品对微型执行器及高精度传感器日益增长的需求。

需求详情

1. PZT压电薄膜材料技术需求：规模化生产能力：开发高效的PZT压电薄膜制备工艺，实现大规模稳定生产，满足物联网智能化电子产品对微型执行器关键材料的爆发式需求。材料性能优化：提升PZT压电薄膜的压电系数、介电常数等关键性能指标，确保其在微型执行器应用中表现出优异的响应速度和能量转换效率。2. 高性能PMUT器件设计与制造：高频宽带特性：设计并制造出工作频率超过10MHz、接收信号带宽大于65%的PMUT器件，以满足超声医疗成像领域对更高分辨率和更宽成像范围的需求。可靠性与稳定性：确保PMUT器件在长时间工作条件下仍能保持高性能，包括良好的热稳定性和机械耐久性，适应医疗设备的严苛使用环境。微型化与集成化：推动PMUT器件的微型化设计与制造，便于集成到各种便携式或植入式医疗设备中，同时降低制造成本，提高市场竞争力。