概述

寻求耐高压的真空电气馈通法兰的加工；电子倍增器 1.自由基检测质谱: 专门用于CVD、ALD等镀膜设备配套仪器 2.晶圆放气率检测质谱: 用于半导体行业各种材料、工装、夹具的污染以及放气率测试 3. 电池包漏液检测质谱: 移动式多组分特种气体/液体泄漏分析测试设备。

需求详情

·寻求新能源锂电池漏液检测质谱检测设备1.自由基检测质谱: 专门用于CVD、ALD等镀膜设备配套仪器2.晶圆放气率检测质谱: 用于半导体行业各种材料、工装、夹具的污染以及放气率测试，参数要求1e-8Pa.m3/s/cm23. 电池包漏液检测质谱: 移动式多组分特种气体/液体泄漏分析测试设备，参数要求1e-8mbar.l/s。

技术参数

耐压3000V，漏率1e-10mbar.l/s；真空电子倍增器，增益1百万倍。