概述

以晶圆表面清洗于燥过程关键技术开发为核心内容，合作开展基于晶圆表面液滴、污染物去除的数据分析与建模仿真，(1)构建晶圆清洗过程的实验测量系统，开展清洗过程机理仿真模拟和液滴与流体耦合的计算模型,揭示液滴晶圆表面脱落机理;(2)对干燥清洗机中流体、液滴、颗粒运动过程开展计算仿真与测量分析，对清洗机的设备结构开展优化设计并验证。

需求详情

以晶圆表面清洗于燥过程关键技术开发为核心内容，合作开展基于晶圆表面液滴、污染物去除的数据分析与建模仿真，(1)构建晶圆清洗过程的实验测量系统，开展清洗过程机理仿真模拟和液滴与流体耦合的计算模型,揭示液滴晶圆表面脱落机理;(2)对干燥清洗机中流体、液滴、颗粒运动过程开展计算仿真与测量分析，对清洗机的设备结构开展优化设计并验证。

技术参数

以晶圆表面清洗于燥过程关键技术开发为核心内容，合作开展基于晶圆表面液滴、污染物去除的数据分析与建模仿真，(1)构建晶圆清洗过程的实验测量系统，开展清洗过程机理仿真模拟和液滴与流体耦合的计算模型,揭示液滴晶圆表面脱落机理;(2)对干燥清洗机中流体、液滴、颗粒运动过程开展计算仿真与测量分析，对清洗机的设备结构开展优化设计并验证。

项目预期

以晶圆表面清洗于燥过程关键技术开发为核心内容，合作开展基于晶圆表面液滴、污染物去除的数据分析与建模仿真，(1)构建晶圆清洗过程的实验测量系统，开展清洗过程机理仿真模拟和液滴与流体耦合的计算模型,揭示液滴晶圆表面脱落机理;(2)对干燥清洗机中流体、液滴、颗粒运动过程开展计算仿真与测量分析，对清洗机的设备结构开展优化设计并验证。