概述

开展基于晶圆表面液滴粘附的数据分析与建模仿真，以期获得最佳工况参数，对喷涂雾化的设备结构开展优化设计并验证，开展雾化过程机理仿真模拟和液滴与流体耦合的计算模型，(1)对雾化过程开展优化设计，通过构建雾化过程液滴尺寸分布分析，得粘附前后的数据库，并开展基于大数据分析与优化设计;(2)建立机仿真模型，并对喷涂过程开展参数优化与验证工作。

需求详情

开展基于晶圆表面液滴粘附的数据分析与建模仿真，以期获得最佳工况参数，对喷涂雾化的设备结构开展优化设计并验证，开展雾化过程机理仿真模拟和液滴与流体耦合的计算模型，(1)对雾化过程开展优化设计，通过构建雾化过程液滴尺寸分布分析，得粘附前后的数据库，并开展基于大数据分析与优化设计;(2)建立机仿真模型，并对喷涂过程开展参数优化与验证工作。

技术参数

开展基于晶圆表面液滴粘附的数据分析与建模仿真，以期获得最佳工况参数，对喷涂雾化的设备结构开展优化设计并验证，开展雾化过程机理仿真模拟和液滴与流体耦合的计算模型，(1)对雾化过程开展优化设计，通过构建雾化过程液滴尺寸分布分析，得粘附前后的数据库，并开展基于大数据分析与优化设计;(2)建立机仿真模型，并对喷涂过程开展参数优化与验证工作。

项目预期

开展基于晶圆表面液滴粘附的数据分析与建模仿真，以期获得最佳工况参数，对喷涂雾化的设备结构开展优化设计并验证，开展雾化过程机理仿真模拟和液滴与流体耦合的计算模型，(1)对雾化过程开展优化设计，通过构建雾化过程液滴尺寸分布分析，得粘附前后的数据库，并开展基于大数据分析与优化设计;(2)建立机仿真模型，并对喷涂过程开展参数优化与验证工作。