概述

1、基于复合场板技术的功率器件的场板结构设计及器件级仿真，优化器件电场分布，实现耐压特性的提高，同时利用场板优化导通路径以改善器件的导通特性。 2、基于复合场板技术的功率器件的工艺制备方案设计和工艺级仿真，通过优化复合场板结构的制备工艺参数，为复合场板功率器件的研制提供技术支撑。 3、基于复合场板的中高压普适性技术研发，通过优化复合场板各层的厚度，复合场板的个数，复合场板的分布等参数，实现复合场板技术适应于功率器件不同耐压的需求

需求详情

1、基于复合场板技术的功率器件的场板结构设计及器件级仿真，优化器件电场分布，实现耐压特性的提高，同时利用场板优化导通路径以改善器件的导通特性。 2、基于复合场板技术的功率器件的工艺制备方案设计和工艺级仿真，通过优化复合场板结构的制备工艺参数，为复合场板功率器件的研制提供技术支撑。 3、基于复合场板的中高压普适性技术研发，通过优化复合场板各层的厚度，复合场板的个数，复合场板的分布等参数，实现复合场板技术适应于功率器件不同耐压的需求

技术参数

1、基于复合场板技术的功率器件的场板结构设计及器件级仿真，优化器件电场分布，实现耐压特性的提高，同时利用场板优化导通路径以改善器件的导通特性。 2、基于复合场板技术的功率器件的工艺制备方案设计和工艺级仿真，通过优化复合场板结构的制备工艺参数，为复合场板功率器件的研制提供技术支撑。 3、基于复合场板的中高压普适性技术研发，通过优化复合场板各层的厚度，复合场板的个数，复合场板的分布等参数，实现复合场板技术适应于功率器件不同耐压的需求

项目预期

1、基于复合场板技术的功率器件的场板结构设计及器件级仿真，优化器件电场分布，实现耐压特性的提高，同时利用场板优化导通路径以改善器件的导通特性。 2、基于复合场板技术的功率器件的工艺制备方案设计和工艺级仿真，通过优化复合场板结构的制备工艺参数，为复合场板功率器件的研制提供技术支撑。 3、基于复合场板的中高压普适性技术研发，通过优化复合场板各层的厚度，复合场板的个数，复合场板的分布等参数，实现复合场板技术适应于功率器件不同耐压的需求