概述

我司现需要开发一项面向集成电路量测设备的纳米位移台在线校准技术，纳米位移台传感器关键参数可以实现在线校准，实时校准纳米位移，提升实验室检测效率及提高产品良率。

需求详情

需求背景：随着微电子技术、通讯技术和超精密加工技术的高速发展，对精密位置定位技术的要求也越来越高。高精密传感器是实现纳米位移准确定位的关键，对高精密位移传感器校准是保证精密定位准确性、稳定性和重复性的前提。传感器的重复定位精度、线性度和分辨率是纳米位移台的核心性能，现有市面上经过电容传感器校准的高精度纳米位移台，在300μm范围内可实现±5nm重复定位精度，0.5nm的开环分辨率。纳米位移台已经广泛用于原子力显微镜、扫描电子显微镜、椭偏仪等集成电路微纳检测设备的位移单元。然而，若保证长期满足高精准位移，基于电容传感器原理的纳米位移台需要定期用更高精度量级的位移传感器校准才能保持高精准工作精度，无法实现现场实时的校准。技术需求：我司现需要开发一项面向集成电路量测设备的纳米位移台在线校准技术，纳米位移台传感器关键参数可以实现在线校准，实时校准纳米位移，提升实验室检测效率及提高产品良率。技术参数：(1)纳米位移台测量值可以实现嵌入式测量校准；(2)纳米位移量程≥300μm，重复定位精度≤5nm；(3)开环分辨率≤0.5nm。