概述

满足先进工艺节点的晶圆检测和量测设备标定和测试所需标准物。

需求详情

【需求描述】1.光学性能测试与标定标准物：视场大小（标记绝对距离，精度<0.01mm）、CD尺寸（标记相对距离，精度<0.1微米）、套刻精度（标记相对距离，精度<0.01微米）、光学分辨率（分辨率板）、景深测试板、多倍率畸变测试板、远心度测试板、多栅标准测微尺、色度标定板（色卡）、白平衡标定板。2.无图形标准颗粒物缺陷标准片、有图形标准颗粒物缺陷标准片、有图形工艺缺陷标准片（ADI、AEI、CMP等工艺）等标准物。3.特征尺寸量测标准片：CD图形标准片、pitch图形标准片、套刻图形标准片、TSV通孔标准片、键合标准片、胶厚标准片、残胶标准片、RDL标准片、TRIM标准片、Bump小球标准片等标准物。【技术要求】满足先进工艺节点的晶圆检测和量测设备标定和测试所需标准物。