概述

随着半导体、光伏等高端制造领域对真空工艺精度的严苛要求，传统蝶阀因 控压精度低（±5%） 和 响应慢（>1s） 难以满足需求。研发基于 5相步进电机FOC（磁场定向控制） 的智能蝶阀，需突破 纳米

需求详情

研发 5 相步进电机 FOC 方案，优化控压算法，设计专用执行机构和传感器，提升定位精度和响应速度，探索国产传感器替代方案。