概述

国产化高精度直线光栅尺关键器件研发

需求详情

寻求国产化替代的高精度直线光栅尺关键器件，满足在高端机床、精密测量和半导体制造中的应用需求。当前对进口产品依赖度较高，急需开发具备自主知识产权、性能稳定且性价比更优的国产高精度光栅尺，以提升产业链自主可控能力。

技术参数

光栅尺栅距：2 μm精度等级：±1 μm信号周期：0.512 μm行程：≥220 mm

项目预期

通过研发高精度直线光栅尺，突破关键光学测量元件国产化瓶颈，满足高端装备对精度和稳定性的要求。