概述

公司在以往的电池制造中，转化率最高只能达到21%-22%，希望通过共同研发，将转化率突破24%大关，PERC电池转化率最高达23.33%，产品质量合格率达97%。

需求详情

1、TOPCon结构对P型硅片少子寿命的影响。在常规的PERC工艺步骤-磷扩散中，由于吸杂的作用，P型硅片少子寿命会有一个较大的提升。然而，在TOPCon电池工艺中，磷扩散将主要发生在Poly-Si中，在硅片衬底中由in-diffusion原位扩散形成的扩散层中掺杂浓度低、p-n结浅，对硅片的吸杂作用比较弱。因此，优化TOPCon的Poly-Si沉积、晶化和掺杂工艺，保证良好的吸杂效果，是P型TOPCon电池要重点解决的首要关键技术问题。2、TOPCon工艺增加了额外的遂穿氧化层生长和退火晶化工艺，这些额外的高温热负载thermal budget会对硅片的少子寿命有不良影响，需要通过后道的镀膜和烧结工艺来加强氢钝化，对衬底缺陷以及SiO₂/Si界面进行修复。因此，根据不同的硅片和电池结构类型，来优化整合前后道工艺，是要重点解决的第二个关键技术问题。