概述

寻找意向单位合作解决以下问题:1、TCO薄膜损伤机理探究及沉积工艺优化;2、先进PVD沉积系统开发。

需求详情

[项目预期]1.工艺参数对等离子体特性及薄膜性能影响研究(直流放电模式)2.不同放电模式下TC0薄膜沉积工艺研究(依托新设备)3.通过类比分析提出新概念沉积系统研发的可行性报告，判断是否能够制备出优质的薄膜，并为结构优化、工艺改进及生产型设备研发提出建议。此结果以及可行性报告需要