面向PECVD非晶硅镀膜装备的等离子体实验诊断平台搭建及关键技术研发项目技术开发。
概述
寻找意向单位共同开展面向PECVD非晶硅镀膜装备的等离子体实验诊断平台搭建及关键技术研发项目技术开发。
需求详情
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征集中
金额:460.0万元-480.0万元