概述

合作研发和技术融资

需求详情

突破国外的限制封锁，实现多款粉末型ALD装备全流程的自主设计开发：间歇型的“清原一号”，采取模块化设计、兼顾手动调试和自动运行模式，在非真空条件下可实现精准原子级薄膜沉积。根据处理量可分为多个产品系列，处理量从克级到公斤级，且主要技术指标达到全球主流水平；连续型的“进原一号”ALD装备采用空间动态式设计，有望成为国内或全球首台能真正实现粉末连续化ALD薄膜沉积的装备，从而大幅提升生产效率。期待有兴趣团队合作研发和技术融资