概述

1、技术创新需求主要内容 可达nm级激光位移传感器的技术及知识产权的掌握，基础的掌握以便二次开发实景运用，以实现高精细测量，能高精度呈现目标工件真实形状，对于各种表面都能稳定测量。 2、研究开发前期基础 首台套三维激光一键测量设备关键激光系统是采用日本基恩士高精度高速点激光位移传感器，点激光垂直照射到待测物上，配合高精度二维移动平台，可任意扫描出待测表面轮廓线，然后软件对其高度进行分析并输出相关数据。该系统平面尺寸测量精度0.01mm，是通过相机和远心镜头来测量。 3、指标 平面尺寸测量精度0.01mm，高度测量精度0.01mm，透明物测量，玻璃划痕测量。