测试座、冷却系统及测试系统

本发明公开一种测试座，用以承载一冷却液，且包括基座、设于该基座中的多个弹力金属件以及设于该基座上方的导电弹性片，其中，通过该导电弹性片隔绝该冷却液与该弹力金属件，可避免该冷却液影响该测试座的测试结果的问题；本发明还公开一种冷却系统，将前述的测试座与冷却装置结合，用于在该测试座测试过程中冷却一待测物；本发明另公开一种测试系统，通过输入气体与冷却液的压力调整，以避免该冷却液影响待测物上芯片的运作。