一种集成电路芯片生产加工处理设备及方法

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一种集成电路芯片生产加工处理设备及方法
申请号:CN202410771745
申请日期:2024-06-15
公开号:CN118635999A
公开日期:2024-09-13
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种集成电路芯片生产加工处理设备及方法,涉及集成电路芯片加工技术领域,包括底板,所述底板上设置有打磨机构一,所述打磨机构一上设置有打磨机构二。本发明通过当前晶圆板的尺寸,调节液压杆的内杆伸缩,使得晶圆板的外壁位于U板之间,旋转调节手轮带动螺柱一推动打磨片一,促使两个打磨片一相互靠近从而贴合晶圆板,拧松螺母,旋转紧固螺栓,从而带动摇臂在两个连接片一之间翻转,并通过铰接翻转调节板,促使打磨片二贴合晶圆板的圆边,电机使转轴带动防滑片一旋转,通过夹持力带动晶圆板在两个防滑片之间旋转,同时对晶圆板的外壁和外边进行打磨作业,省去了二次加工的步骤,提高打磨效率。
技术关键词
集成电路芯片 打磨机构 吸尘风扇 集尘箱 打磨去毛刺 螺柱 碎屑粉末 调节手轮 防滑片 底板 夹持机构 液压杆 安装板 正面 螺栓 通孔 箱门 圆心 电机