摘要
本发明公开了一种超洁净泵用永磁无轴承电机的自适应流量匹配悬浮控制方法，旨在解决现有超洁净泵系统中流量控制精度和稳定性的问题。首先,通过无轴承磁悬浮技术实现对泵转子的稳定悬浮,利用位移传感器获取转子位置信息,并根据此信息计算出相应的控制电压。其次,改进模型预测控制技术,建立了基于历史数据和当前状态的流量预测模型,利用自回归积分滑动平均(ARI MA)模型和支持向量机(SVM)模型对流量进行预测,从而实现了对未来流量变化的准确预测,根据预测流量值调整电机的控制策略,以减少流量脉动对系统稳定性的影响。最后，自适应控制方法根据实时误差信号动态调节P I控制器参数，确保系统在不同工作条件下的稳定性和性能。
