一种具有输送挡水构件的芯片框架清洗系统

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一种具有输送挡水构件的芯片框架清洗系统
申请号:CN202410783171
申请日期:2024-06-18
公开号:CN118610127B
公开日期:2025-05-02
类型:发明专利
摘要
本申请提供一种具有输送挡水构件的芯片框架清洗系统,涉及半导体加工领域。一种具有输送挡水构件的芯片框架清洗系统,包括前置清洗架、中置清洗架和后置清洗架:所述中置清洗架和后置清洗架的底部固定连接有固定箱,且固定箱内腔的四周均固定连接有气缸筒;所述固定箱的四周均分别设置有调节组件和防挡组件;所述气缸筒的内腔设置有供给组件,且供给组件的另一侧分别设置有清洗组件和对流组件。该具有输送挡水构件的芯片框架清洗系统,采用封堵防挡和对流吸水相结合的方式,以清洗剂为介质的前提下,取代带有刷毛的清洗辊对芯片框架以及晶元进行转动清洗操作,实现芯片框架的高效清洗效果。
技术关键词
清洗系统 气缸筒 双头电机 双头喷嘴 电加热板 歧管 清洗组件 芯片 框架 同步轮 T型滑轨 吸水海绵 调节组件 内腔 螺纹套 封堵板 储存罐 同步带传动 凸轮 回流管