研磨垫调整器及检测方法、化学机械研磨装置

本发明提供一种研磨垫调整器及检测方法、化学机械研磨装置，所述研磨垫调整器包括：调整盘，包括相对的正面与背面，正面朝向研磨垫；调整头，与调整盘的背面连接，带动调整盘移动；气体管道，从调整头内部延伸至调整盘的背面，气体管道内通有气体，且气体管道上设置有流量检测器，用于检测气体管道内的气体流量；控制器，接收流量检测器传递的气体流量信号以判断调整盘与调整头的位置关系。本发明通过气体管道、流量检测器以及控制器的设置，实时监控调整盘与调整头的位置关系，判断调整盘是否完好安装于调整头上或是否掉落，从而能够及时停止研磨垫调整器的运行并进行维修，避免研磨垫调整器的无效运行，由此提高研磨速率，并避免了产品缺陷。