一种基于交叉阵列结构设计的单分子膜忆阻器及其制备方法
申请号:CN202410799118
申请日期:2024-06-20
公开号:CN118368907B
公开日期:2024-10-11
类型:发明专利
摘要
本发明涉及电子器件技术领域,尤其涉及一种基于交叉阵列结构设计的单分子膜忆阻器及其制备方法。所述单分子膜忆阻器包括单分子膜忆阻模块,该模块包括单分子膜、金属源端电极和石墨烯漏端电极;金属漏端电极,其设置于石墨烯漏端电极顶部的相对两端;单分子膜忆阻模块以M×N阵列形式设置;所述单分子膜忆阻器制备方法包括:底部导电条、绝缘层、绝缘支撑层、金属源端电极、自组装单分子膜、石墨烯漏端电极以及金属漏端电极的制备。通过此制备方法制备的基于交叉阵列结构设计的单分子膜忆阻器具有较高的良品率和稳定性,具有制造下一代人工神经网络的分子电路的潜力。
技术关键词
分子
导电条
电极
绝缘支撑
阵列
单层石墨烯
电子器件技术
SOI硅片
人工神经网络
模块
电子束
半成品
气相
器具
电路
顶端