衬底处理室和衬底搬运室之间的热障

两个室的界面表面部分之间的热障和/或间隙减少室之间的热传递。(例如闸阀的)界面表面包括(i)基底表面；(ii)向外延伸超过基底表面的凸起环表面，其中凸起环表面围绕闸阀进入开口延伸；(iii)围绕凸起环表面延伸的密封支撑表面；以及(iv)向外延伸超过基底表面的至少一个凸起凸台表面。界面表面限定具有总界面面积的外周。凸起环表面和凸起凸台表面限定界面表面的总接触表面面积的至少一部分，该部分从基底表面向外间隔开。界面表面的总接触表面面积小于总界面面积的10％和/或小于基底表面的表面面积的10％。