一种芯片激光切割保护液及其制备方法与应用
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一种芯片激光切割保护液及其制备方法与应用
申请号:
CN202410834837
申请日期:
2024-06-26
公开号:
CN118813328A
公开日期:
2024-10-22
类型:
发明专利
摘要
本发明涉及一种粘度稳定的芯片激光切割保护液、制备方法、应用和使用其的芯片激光切割保护方法,以质量份计,所述激光切割保护液包括10‑15份聚烯酸或聚醇化合物、0.1‑0.5份紫外吸收剂、0.5‑1.5份稳定剂、5‑20份醚或酯类助剂、0.5‑1份抑菌剂和65‑80份超纯水,所述激光切割保护液通过多个特定组分的选择和使用,具有优异的粘度稳定性和激光切割保护性能,在半导体芯片加工和封装领域具有深刻的意义。
技术关键词
切割保护液
紫外吸收剂
激光
保护方法
超纯水
抑菌剂
粘度稳定
二羟基二苯甲酮
邻羟基苯甲酸
稳定剂
烯酸
混合物
樟脑磺酸
半导体芯片
助剂
酒石酸
去离子水