一种晶棒切割用定位工装及晶棒切割方法

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一种晶棒切割用定位工装及晶棒切割方法
申请号:CN202410866808
申请日期:2024-06-29
公开号:CN118596372B
公开日期:2024-12-24
类型:发明专利
摘要
本发明属于蓝宝石加工技术领域,公开了一种晶棒切割用定位工装及晶棒切割方法,包括:基座;固定架,设置在所述基座上表面一端,用于承托晶棒;抵推结构,设置在所述基座上表面另一端,用于抵推晶棒前进;夹持定位机构,与所述基座滑动连接,用于对晶棒待切割位置的两侧进行夹持固定;控制系统,用于控制定位工装对晶棒进行自适应夹持定位;所述控制系统包括:第一数据采集模块、第一数据处理模块、第二数据处理模块、第二数据采集模块和分析控制模块。本发明通过根据待切割晶棒的特性预测晶棒的切割尺寸,可以显著提高切割精度和质量;通过准确预测和确定夹持位置和夹持力,减少切割过程中的调整时间,提升整体生产效率。
技术关键词
机器学习模型 定位工装 夹持定位机构 夹持结构 数据处理模块 数据采集模块 夹持座 晶棒切割方法 基座 控制系统 生成方式 尺寸 固定架 推板 参数 指令 控制模块 底板