一种硅碳工艺设备变形矫正处理方法

本发明提供了一种硅碳工艺设备变形矫正处理方法，属于硅碳工艺设备变形矫正技术领域，该硅碳工艺设备变形矫正处理方法为使用超声波检测对硅碳工艺设备的表面进行检测；在硅碳工艺设备表面贴附对应的数据采集设备；将所述BIM模型与该硅碳工艺设备的原始图纸进行对比；采用调整后的热处理矫正方案对所述硅碳工艺设备进行矫正；热处理完成后，再次使用数据采集设备对硅碳工艺设备的表面的变形情况进行测量，比对矫正后的数据，进行二次矫正；本发明提供一种硅碳工艺设备变形矫正处理方法，能够解决现有的硅碳工艺设备变形矫正处理方法无法精准确定变形的精确范围，需要多次热处理，导致材料产生热疲劳现象，增加设备的损坏风险的问题。