一种腔衰荡光谱仪器的明暗场腔镜缺陷检测装置及方法

一种腔衰荡光谱仪器的明暗场腔镜缺陷检测装置及方法，装置包括激光光源、照明光学系统、腔镜位移台、暗场收集镜组、暗场探测相机、暗场自动对焦系统、明场收集镜组、明场探测相机、明场自动对焦系统、明暗场图像处理及缺陷分析系统，通过合理搭建明暗场成像的光学系统，通过融合明场暗场检测方法的优势，使用明场成像的原理检测大缺陷，使用暗场成像的方式检测小缺陷，两种检测方案共用一套光源与照明系统，腔镜完成一次扫描，反射光与散射光分别进入两套收集系统可以实现大量级缺陷和小量级缺陷信息的同时获取，实现了腔镜缺陷由百微米至亚微米量级缺陷的高精度高效率检测。