一种芯片缺陷检测方法及装置
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一种芯片缺陷检测方法及装置
申请号:
CN202410904659
申请日期:
2024-07-08
公开号:
CN118447021B
公开日期:
2024-09-10
类型:
发明专利
摘要
本申请提供一种芯片缺陷检测方法及装置,该方法包括:获取超声图像并提取底层、中层和高层特征;融合各层特征的静态与动态上下文信息;通过上采样和合并处理获得第一、第二、第三和第四特征图;对这些特征图进行检测并合并结果,实现芯片内部缺陷的高效、自动、准确检测。利用神经网络处理超声图像。
技术关键词
上下文特征
芯片缺陷检测方法
动态上下文信息
上采样
静态上下文
通道注意力机制
芯片缺陷检测装置
图像
超声模块
焊点
裂纹
轮廓
短路
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