一种测厚仪反馈数据的矫正方法

本发明涉及一种测厚仪反馈数据的矫正方法，包括以下步骤：驱动被测极片运动并利用测厚仪驱动第一测厚组件对被测极片进行第一次测量校准后得到数据组r；驱动被测极片运动并利用测厚仪驱动第二测厚组件对被测极片进行第二次测量得到数据组y*；驱动被测极片运动并利用测厚仪驱动第三测厚组件对被测极片进行第三次测量得到数据组x；利用构建全连接神经网络和因子分解机模型，根据数据组r、数据组y*、数据组x、第三测厚组件反馈数据的权重参数以及第二测厚组件反馈数据y*的权重参数，求得第三测厚组件反馈数据所对应拟合值；能够降低X射线测厚仪被标定的频率并且能够保持通过X射线测厚仪获取数据可靠性；本发明使用方便，具有广泛的市场前景。