一种调度方法及相关装置

本说明书实施例提供了一种调度方法，该方法在该工艺路径的生成过程中，只有判定未调度晶圆可出片时，才生成未调度晶圆对应的工艺路径，以基于该工艺路径对其进行调度，实现了对未调度晶圆生成工艺路径的节奏控制，降低了在半导体工艺设备的某个设备模块异常时，由于设备中较多的晶圆占据大量的设备模块而导致死锁的概率，改善了调度方法的容错率。