一种基于激光诱导前向转移的实时涂布方法及装置

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一种基于激光诱导前向转移的实时涂布方法及装置
申请号:CN202410947438
申请日期:2024-07-16
公开号:CN118904669A
公开日期:2024-11-08
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于激光诱导前向转移的实时涂布方法及装置,包括:基于隶属度函数构建输入变量和输出变量;基于输入变量和输出变量进行运动决策,得到模糊规则;基于输入参数值和模糊规则进行模糊计算,得到最终决策结果;级联控制模块基于最终决策结果控制电机转动,对发射基板进行实时涂布。该装置包括上装夹块、Z轴移动平台、下装夹块、上装夹块支撑柱、底板和实时涂布模块。通过本发明实现转移薄膜的实时涂布,并对小型玻片的夹持和间距进行实时监测控制和高精度控制。本发明可广泛应用于激光诱导技术领域。
技术关键词
激光诱导前向转移 隶属度函数 涂布方法 模糊规则 变量 涂布模块 涂布装置 移动平台 决策 真空吸气 激光诱导技术 控制模块 模糊推理方法 粗糙度 级联 基板 亚微米 调节旋钮 螺丝钉